| 放大倍数 | 线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃ |
|---|---|
| 规格 | 0-100m |
| 精度 | 0.05ppm |
| 类型 | 激光干涉仪 |
| 售后服务 | 一年保修 |
| 颜色 | 黑色 |
| 操作方式 | 程序控制 |
| 测量行程 | 线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件） |
| 品牌 | 中图 |
| 型号 | SJ6000 |
SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现 高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000激光干涉仪特点优势
精度高
SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
功能广
n 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
n 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
n 可实现对机床回转轴的测量与校准；
n 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
n 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
n 支持手动或自动进行环境补偿。
软件强
n 友好的人机界面；
n 丰富的应用功能模块；
n 向导式的操作流程；
n 简洁化的记录管理；
n 支持中文、英文和俄文界面；
n 支持企业专属模板定制。
标准多
内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
序号 | 标准号 | 标准名称 |
1 | GB/T 17421.2-2000 | 中国 标准 |
2 | GB 10931-1989 | 中国 标准 |
3 | ISO 230-2-1997 | 1997版国际标准 |
4 | ISO 230-2-2006 | 2006版国际标准 |
5 | ISO 230-2-2014 | 2014版国际标准 |
6 | ASME B5.54-2005 | 美国 标准 |
7 | ASME B89.1.12M-1990 | 美国机械工程师协会标准 |
8 | NMTBA-1997 | 美国机床协会标准 |
9 | BS 3800-2-1991 | 英国机床标准 |
10 | BS 4656-16-1985 | 英国机床标准 |
11 | JIS B6330 | 日本 标准 |
12 | VDI 3441 | 德国机床标准 |
13 | JJG 117-2005 | 平板检定规程 |
主机
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：≤ 6分钟
工作温度范围：(0~40)℃
存储温度范围：(-20~70)℃
环境湿度：(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa
线性测量
测量距离：(0~80)m(无需远距离线性附件)
测量精度：0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力：1nm
测量 大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±1.5mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 | |
短距离 | (0.1~4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
长距离 | (1.0~20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.1μm |
注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m | ||||
垂直度测量
轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 | |
短距离 | (0.1～3.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm/m |
长距离 | (1.0～15.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm/m |
注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m | ||||
自动精密转台
型号：WR50
角度测量范围：(0~360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
高转速：10rpm
高跟踪速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直径：112mm
通信方式：蓝牙传输
供电方式：锂电池
正交触发盒
信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号
输出形式：10μs脉冲
触发延时：0.1μs
供电电源：12VDC
尺寸重量与供电
便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm
标准配置重量：18kg
供电电源：(100~240)VAC
安全要求
激光的安全等级达到Class I要求
SJ6000激光干涉仪主要技术指标