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低温等离子技术在是废气处理的前沿技术，对烟尘处理方面优势显著。其基本原理是在电场在高压作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。1980年代，日本东京大学S．Masuda教授提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的****有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。     
2.低温等离子体技术的应用：
    低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排 放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
3、低温等离子废气净化设备的原理：
    等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
    (1) 电场＋电子→高能电子
    (2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
    (3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
    (4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
    从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
4、低温等离子废气净化设备的特点：
    1、工艺简洁、操作简单,方便，无需专人看管，需要定期清洗等离子发生体。
    2、节能：低温等离子体处理烟气能耗低，运行费用低廉。
    3、适应条件：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转,特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
    4、设备使用寿命长：设备由不锈钢材，石英、钼等材料组成，抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。