微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件，具有体积小、重量轻，性能好，成本低等特点。主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器；此外，还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等，这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。
按照被测量的物理性质分为化学微传感器、生物微传感器、物理微传感器等。
1、离子传感器（化学型）：将溶液中的离子活度转换为电信号的传感器。基本原理是利用固定在敏感膜上的离子识别材料有选择性的结合被传感的离子，从而发生膜电位或膜电压的改变，达到检测目的。离子敏传感器广泛用在化学、医药、食品以及生物工程等行业中。
2、基因传感器（生物型）：通过固定在感受器表面上的已知核苷酸序列的单链脱氧核糖核酸（Deoxyribo Nucleic Acid，DNA）分子（也称为ssDNA探针），和另一条互补的ssDNA分子（也称为目称DNA或靶DNA）杂交，形成双链DNA（dsDNA），换能器将杂交过程或结果所产生的变化转换成电、光、声等物理信号，通过解析这些响应信号，给出相关基因的信息。基因传感器也称DNA传感器。
3、声表面波传感器（物理型）：利用声表面波技术和微机电系统技术，将各种非电量信息，如压力、温度、流量、磁场强度、加速度、角速度等的变化转换为声表面波振器振荡频率的变化的装置。
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